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Sensofar实务 线上说明会

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Sensofar实务 线上说明会


本次线上会议主要内容包括Sensofar设备常用软件功能介绍及操作讲解。研讨会计划用时一个小时。

讲师:于乐阳  应用工程师


时间:6/22(二) 16:00~17:00 p.m.

  


报名方式:1.扫描二维码-登记个人信息-完成线上会议报名

              2.阅读原文报名



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Sensofar 3D光学轮廓仪


3D光学轮廓仪Sensofar颠覆传统,将共聚焦、干涉和多焦面叠加技术融合与一身;


Sensofar测量设备可以帮助用户取得实质性多突破,特别是在半导体、精密光学部件、数据存储、显示设备、膜厚和材料测试等领域。


  • 共聚焦模式:

    可以用来测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.10um。利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的镜头时,共聚焦在光滑表面测量斜率达70°(粗糙表面达86°)。


  • 干涉测量模式:

    a、PSI 相位差干涉是一种亚纳米级精度的用于测量光滑表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以保证亚纳米级的纵向分辨率使用2.5倍的镜头就能实现超高纵向分辨率的大视场测量。 

    b、VSI 白光干涉是一种纳米级测量精度的用于测量各种表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以保证纳米级的纵向分辨率。



  • 多焦面叠加:

    多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。根据Sensofar在共聚焦和干涉技术融合应用方面的丰富经验,特别设计了此功能来补足低倍共聚焦测量的需要。该技术的最大亮点是快速(mm/s)、扫描范围大和支援斜率大(最大86°)。





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电   话: 010-62553066
010-62565779(总机)

传   真: 010-62566652

测量部:400-172-5117

测定部:400-820-5501