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wafer 或 tray上的 chip 如何执行任意指定位置,同时又能自动量测?

作者:北京中翰仪器有限公司 浏览: 发表时间:2024-01-25 15:09:04

可任意指定位置做自动量测


wafer 和 tray 的 chip 分配图


应用范围:


即使已使用自动量测机,但若不是全检,而是要任意在 wafer 或 tray 上挑选指定位置自动量测,常常需要花很多时间找位置及定位等,效率大打折扣。


优点:


Nikon VMZ 系列可选配 MapMeasurePro 软体,让使用者在 wafer 或 tray 上设定工件摆放的间距和数量,形成一个 MAP 图,让使用者任意点选要量测的位置,软体会自动和程式连结,读取需要的程式到指定的位置做自动量测,对现场的 OP 和工程师,能缩短作业时间,执行更多量测项目。


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